该项目可用于高精度专有刀具、模具和摩擦滑动部件，提高使用寿命，减小
摩擦，如手术和美容刀具、丝锥、PCB 钻、拉丝模、冲压模具、压缩机滑块，滑
动环等；用于视窗、镜片和传感器表面，可防止划伤，增强散热，利于红外光传
递，等；用于激光透镜，可提高损伤阈值；用于射线辐射测量传感器，可抗射线
辐射损伤，提高测量的灵敏度。
本项目包括薄膜制备的专有装置和制备工艺，制备技术和薄膜特性达到国际
上同类水平，目前已成功地应用于手术和美容刀锯（不锈钢）、丝锥和铣刀、冲
压和拉丝模具涂层等，由于该薄膜硬度高，在 200nm 厚度时（处理时间 10 分钟），
刀具的使用寿命提高 4 倍左右，相当于其他刀具薄膜厚度为 3 微米（处理时间
4-5 小时）时的效果，不仅可以大大提高工作效率，节省大量的人力、水电和材
料，而且由于摩擦系数小，切削时不粘接，润滑好，特别适合于有色金属切削。
该项目属于无污染加工，成本低效果优异，经济效果显著，每炉的成本几十元，
产生的效益在几万元。
该成果获得陕西省重大科技专项资助，已经完成各种实验研究，进入产业化
推广阶段。该项目中的离子源技术获高等学校科成果一等奖和陕西省科技成果二
等奖。该项目的专有装置制造和工艺技术已获国家发明专利。
