该项目应用先进的 MEMS 技术，研制完成了耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发。解决了一直困扰航空航天、石油化工、军工、能源电力等领域因高温、高频响、高过载、微型化、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力、
力、加速度测量难题。研制的压力传感器主要技术指标：工作温度：-40-200℃；压力量程：0～1000MPa 任意量程；固有频率：≤1MHz:综合精度：0.5 %FS。高 G值加速度计指标：1×1015g（g 为重力加速度）。该成果获得 2006 年度国家技术发明二等奖、2005 年度教育部技术发明一等奖、2004 年度陕西省科技进步一等奖和 2004 年度西安市科技进步一等奖四项奖励。相关技术已获得国家授权发明专利 20 余项。
