齿式真空泵/压缩机与罗茨真空泵/压缩机类似，具有结构简单、可靠性高、维护方便且成本低的特点，但它具有内压缩过程，因此能耗小（比罗茨鼓风机节能高达 20％），排气温度低（压比为 2 时，温度低 15℃），单级升压高（单级升压高达 2bar），是罗茨真空泵/鼓风机理想的节能替代产品。西安交通大学压缩机研究所掌握了齿式真空泵/压缩机的型线设计、孔口布置等关键技术，并已和企业联合开发出单级压力比达到 3 的齿式压缩机，并通过了产品鉴定。目前该产品已经在石化、水泥罐装、气力输送、污水处理等领域得到应用（压力比在 1.6～3 的范围该产品节能优势明显）。